腔室標準功能12"或16"公稱直徑 1/8"壁厚。
超純304L不銹鋼精密焊接。
CF法蘭端口密封，內表面電解拋光，應用與超高真空系統。
最高溫度≤450℃ 所有端口對焦球心，對焦角度公差±1°
兩種標準規格可供選擇，可接受非標定制，如有需求可咨詢銷售工程師。
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