W 形密封和 C 形密封簡介
2024-07-19 16:51:55 來源：邁格諾科官網 游覽：
W 形密封和 C 形密封用于半導體設備的模塊化氣體系統（IGS）通常由隔膜閥、單向閥、減壓閥、過濾器、壓力傳感器、質量流量控制器和基塊等元件組成。這些元件一般為表面安裝式，其密封形式可分為 W 形密封和 C 形密封，選擇合適的密封形式對確保系統的密封性能至關重要。那么 W 形密封和 C 形密封有什么異同？
W 形密封和 C 形密封的相同點
W 形密封和 C 形密封的不同點
C 形密封墊片的截面看起來像字母 “C”，兩側有兩個扁平的凸臺密封面。當適當擰緊時，墊片的頂部和底部分別受到表面安裝元件（比如 C 形密封閥體）和基塊硬化密封面的擠壓，并形成密封。此外，在安裝 C 形密封墊片時，可以使用支架一次性定位并安裝多個墊片。
對于任何模塊化氣體系統（IGS），W 形密封或 C 形密封均可滿足要求，但是由于執行不同的 SEMI 標準，因此密封墊片和密封面的結構不同，用戶可以根據使用習慣和元件的密封形式選擇相應的 W 形密封或 C 形密封。