真空閥指的是用在真空系統(tǒng)中的閥門，其作用通常為隔離真空區(qū)域（如工藝腔室） 或控制氣體進出量。由于真空環(huán)境基本貫穿半導(dǎo)體制造過程始終，因此真空閥在 半導(dǎo)體設(shè)備中也有著普遍而廣泛的應(yīng)用。真空閥和普通閥門在類型上沒有本質(zhì)區(qū)別，按作用劃分主要有隔離閥、控制閥 （調(diào)節(jié)閥）、傳輸閥、泄壓閥/排氣閥、氣體計量閥、止回閥等，在半導(dǎo)體設(shè)備的 真空系統(tǒng)中尤其是隔離閥、控制閥、傳輸閥應(yīng)用較多。

       球閥的啟閉件是帶有圓形通道的球體，繞垂直于通道的軸線旋轉(zhuǎn)，球體隨閥桿轉(zhuǎn)動從而達到啟閉通道的目的。球閥適用的壓力范圍廣，從高真空到低真空 等均可使用，同時在帶有腐蝕性介質(zhì)的或者高溫的系統(tǒng)中也均可適用。

產(chǎn)品特性：

閥體一體式精密加工而成，專為MOCVD等高溫設(shè)備設(shè)計型號。

特殊內(nèi)部結(jié)構(gòu)設(shè)計，擁有自清潔功能，有效防止物料沉積。

從而保證清潔的動態(tài)密封，防止因污染而導(dǎo)致故障。

泄漏率:≤1x10-9 std. cc/sec. He.

閥體材質(zhì):SUS316L。

閥芯密封材質(zhì):PTFE 。

溫度范圍：-25℃~≤205°C的間歇烘烤

模塊化設(shè)計，方便維護。

閥體帶有定位鎖，方便定位。

比同類閥門更的大流導(dǎo)CV值設(shè)計，可做臨時樣品窗使用。

提供內(nèi)螺紋 NPT、KF 法蘭以及插焊等多種接口方式。

可提供手動氣動兩種驅(qū)動方式。

標(biāo)準(zhǔn)維護套件可以輕松維護閥門

可提供2D\3D模型，接受非標(biāo)定制。如有需求可咨詢銷售工程師。

注意：球閥在初始操作時可能轉(zhuǎn)動扭矩比較大，這是正常現(xiàn)象。